在线气相色谱仪主要包括电子压力控制模块、色谱模块、数据处理模块、接口模块和显示模块，还包括防爆模块等辅助单元。

采用电子压力控制模块调节载气和样气的压力，稳压后的载气携带样气进入色谱模块。色谱模块由进样器、色谱柱和检测器组成，进样器获取一定量的样气后，送入色谱柱分离，然后由检测器输出检测信号。数据处理模块用于分析仪的工作流程控制，获取色谱模块的检测器信号，经处理得到气体分析结果。接口电路实现分析仪和外部设备之间的数据和状态信息的通讯，并进行反馈控制。

其中，在线气相色谱模块作为核心部件，采用的是微型色谱技术，基于微电子机械系统技术(MEMS)在硅片上制造高质量、高精度微细进样系统和高灵敏度的微细热导检测器。由于所有微细器件在硅片上完成，故这些器件的化学性能很稳定，惰性好，工艺上重复性好，制造精度高。

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